晶体生长设备 真空镀膜设备 清洗设备 智能设备 全自动RCA清洗机 主要应用于集成电路领域，先进的清洗工艺有效去除了晶片表面的细微颗粒物、金属残留、光刻胶残留物等问题。多用于硅、蓝宝石、GaAs晶片清洗及烘干工艺。
